AT410 臺式熱原子層沉積
描述
AT410 工具是市場上具成本效益的原子層沉積系統(tǒng)。半導體級組件和金屬密封管線以及快速脈沖閥使研發(fā)機構能夠快速訪問高質量的 ALD 薄膜，以快速篩選概念。 該工具擁有達到或超過市場上其他工具的功能，而成本只是其中的一小部分。
技術特點
直徑高達 4“ 的樣品架（可定制以容納小零件、不尋常的形狀）
可變過程壓力控制 0.1 至 1.5 TORR
多達 5 種前驅體 - 標準
樣品上游的所有金屬密封系統(tǒng)
7“ 觸摸屏 PLC 控制系統(tǒng)
以規(guī)定的劑量量精確地計量母離子
室溫從室溫到300°C±1°C;
前驅體溫度從室溫到 150 °C ± 2 °C（帶加熱夾套）
市場上占地面積很?。?.5 平方英尺），臺式安裝和潔凈室兼容
系統(tǒng)維護簡單，公用設施和前驅體使用率很低
流線型腔室設計和小腔室體積
提供快速循環(huán)能力（高達 1.2nm/min Al2O3）和高曝光、深度穿透處理
全硬件和軟件聯(lián)鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全運行
該工具可以沉積各種熱原子層沉積材料
其他
系統(tǒng)出廠時預裝了多個標準配方，控制器中預裝了幾個標準配方
在購買討論期間待定的確切配方組合
為所有系統(tǒng)材料和用戶定義的設備要求提供工藝開發(fā)支持
應用領域
原子層沉積技術由于其沉積參數(shù)的高度可控型（厚度，成份和結構），優(yōu)異的沉積均勻性和*性使得其在微納電子和納米材料等領域具有廣泛的應用潛力。該技術應用的主要領域包括：
1） 晶體管柵極介電層（high-k）和金屬柵電極（metal gate）
2） 微電子機械系統(tǒng)（MEMS）
3） 光電子材料和器件
4） 集成電路互連線擴散阻擋層
5） 平板顯示器（有機光發(fā)射二極管材料，OLED）
6） 互連線勢壘層
7） 互連線銅電鍍沉積籽晶層（Seed layer）
8） DRAM、MRAM介電層
9） 嵌入式電容
10） 電磁記錄磁頭
11） 各類薄膜（<100nm）
