美國(guó)API 452型過(guò)程臭氧測(cè)量模塊
- 適合應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè) -
452是基于微處理器的、能夠精準(zhǔn)可靠地測(cè)量氧氣或空氣中的高濃度臭氧的氣體測(cè)量模塊。 測(cè)量原理是基于254nm波長(zhǎng)的紫外吸收法。讀數(shù)的單位可在重量百分比和克/立方米中選擇。溫度補(bǔ)償和高達(dá)300kPa的壓強(qiáng)補(bǔ)償也是該系列儀器的特點(diǎn)。
儀器緊湊的設(shè)計(jì)使得它在工業(yè)過(guò)程中的安裝更為簡(jiǎn)單。氣體路徑設(shè)計(jì)為直線(xiàn)（無(wú)轉(zhuǎn)角或彎管，能夠有效減少暴露表面積。452的測(cè)量模塊只對(duì)窄波段光譜敏感，無(wú)需紫外濾光器，而紫外濾光器會(huì)被紫外線(xiàn)或濕度所影響，從而導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。 452中使用了兩個(gè)探測(cè)器：一個(gè)用于臭氧測(cè)量，另一個(gè)用于紫外燈強(qiáng)度變化的補(bǔ)償。這種設(shè)計(jì)使得測(cè)量模塊可在沒(méi)有維護(hù)或校準(zhǔn)的情況下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。測(cè)量模塊內(nèi)置模擬輸出、RS485/RS232輸出和4個(gè)光隔離狀態(tài)輸出以顯示測(cè)量模塊運(yùn)行狀態(tài)。
輸入/輸出和電源輸入連接是通過(guò)15針 D-sub 接頭實(shí)現(xiàn)的。在高純度應(yīng)用中，452支管可采用316L不銹鋼、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接頭。
參數(shù)
量程： 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,
0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3
壓力補(bǔ)償： 很高300kPa絕對(duì)壓強(qiáng)
耐壓 ：115 psia
重復(fù)性： 1%滿(mǎn)量程
響應(yīng)時(shí)間： T95<2秒
零點(diǎn)漂移： 1% 滿(mǎn)量程/月 (不累積)
溫度范圍 ：5-45°C
接觸材料 ：316L不銹鋼,聚四氟乙烯，藍(lán)寶石
配件： 1/4” 不銹鋼接合(管道)或高純度VCR?或HTC?配件，316L，10Ra表面粗糙度
流量 ：0.5 到 25.0 LPM
電源 ：+15 volts @ 1.5A 很大
指示器 ：4位LED顯示
模擬輸出 ：0-5V滿(mǎn)量程
零點(diǎn)校準(zhǔn) ：觸點(diǎn)閉合輸入
數(shù)字輸出 ：測(cè)量模塊正常, 燈強(qiáng)度弱, 測(cè)量室污染,
無(wú)效讀數(shù)(光電隔離)
串行數(shù)據(jù)接口 ：RS232 或 RS485
尺寸 (高x寬x長(zhǎng)) ：6.71” x 5.13” x 2.16”
(170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)
包含配件
重量 ：1.27 千克
認(rèn)證： CE 和 RoHS
保修： 1 年
